Naidheachdan - San fharsaingeachd

San fharsaingeachd, tha e doirbh beagan fàilligeadh a sheachnadh ann an leasachadh, cinneasachadh agus cleachdadh innealan leth-chonnsachaidh. Le leasachadh leantainneach air riatanasan càileachd toraidh, tha mion-sgrùdadh fàilligeadh a’ sìor fhàs cudromach. Le bhith a’ dèanamh mion-sgrùdadh air sgoltagan fàilligeadh sònraichte, faodaidh e cuideachadh le dealbhadairean cuairte lochdan ann an dealbhadh innealan a lorg, mì-cho-fhreagarrachd paramadairean a’ phròiseis, dealbhadh mì-reusanta cuairte iomaill no obrachadh ceàrr air adhbhrachadh leis an duilgheadas. Tha feum air mion-sgrùdadh fàilligeadh innealan leth-chonnsachaidh air a nochdadh sa mhòr-chuid anns na taobhan a leanas:

(1) Tha mion-sgrùdadh fàilligeadh na dhòigh riatanach airson meacanaig fàilligeadh sliseag an inneil a dhearbhadh;

(2) Bidh mion-sgrùdadh fàilligeadh a’ toirt seachad am bunait agus am fiosrachadh riatanach airson breithneachadh èifeachdach air fàilligeadh;

(3) Bheir mion-sgrùdadh fàilligeadh fiosrachadh fios-air-ais riatanach do innleadairean dealbhaidh gus dealbhadh a’ chip a leasachadh no a chàradh gu leantainneach agus a dhèanamh nas reusanta a rèir sònrachadh an dealbhaidh;

(4) Faodaidh mion-sgrùdadh fàilligeadh an stuth-cuideachaidh riatanach a thoirt seachad airson deuchainn cinneasachaidh agus am fiosrachadh riatanach a thoirt seachad airson pròiseas deuchainn dearbhaidh a bharrachadh.

Airson mion-sgrùdadh fàilligeadh diodes leth-chonnsachaidh, fuaimean no cuairtean amalaichte, bu chòir paramadairean dealain a dhearbhadh an toiseach, agus às deidh sgrùdadh coltais fo mhiocroscop optigeach, bu chòir am pacaigeadh a thoirt air falbh. Ged a thathar a’ cumail suas ionracas gnìomh a’ chip, bu chòir na uèirichean a-staigh agus a-muigh, puingean ceangail agus uachdar a’ chip a chumail cho fad ‘s as urrainn, gus ullachadh airson an ath cheum den mhion-sgrùdadh.

A’ cleachdadh microscopaidh sganaidh dealanach agus speactram lùtha gus an anailis seo a dhèanamh: a’ gabhail a-steach amharc air morf-eòlas microscopach, lorg puing fàilligeadh, amharc agus suidheachadh puing locht, tomhas ceart air meud geoimeatraidh microscopach an inneil agus sgaoileadh comas uachdar garbh agus breithneachadh loidigeach cuairt geata didseatach (le dòigh ìomhaigh eadar-dhealachaidh bholtaids); Cleachd speactramadair lùtha no speactramadair gus an anailis seo a dhèanamh tha: mion-sgrùdadh co-dhèanamh eileamaidean microscopach, structar stuthan no mion-sgrùdadh truailleadh.

01. Easbhaidhean uachdar agus losgadh innealan leth-chonnsachaidh

Tha lochdan uachdar agus losgadh-a-mach innealan leth-chonnsachaidh le chèile nan dòighean fàilligeadh cumanta, mar a chithear ann am Figear 1, agus is e sin lochd an t-sreath glan de chuairt amalaichte.

Tha Figear 2 a’ sealltainn locht uachdar an t-sreath mheatailichte den chuairt amalaichte.

Tha Figear 3 a’ sealltainn an t-sianal briseadh-sìos eadar an dà stiall meatailt den chuairt amalaichte.

Tha Figear 4 a’ sealltainn tuiteam an stiall meatailt agus deformachadh claon air drochaid an adhair anns an inneal microwave.

Tha Figear 5 a’ sealltainn losgadh-griod an tiùba mhicro-thonn.

Tha Figear 6 a’ sealltainn an milleadh meacanaigeach air an uèir meatailteach dealain amalaichte.

Tha Figear 7 a’ sealltainn fosgladh agus locht a’ chip diode mesa.

Tha Figear 8 a’ sealltainn briseadh sìos an diode dìon aig cuir a-steach a’ chuairt amalaichte.

Tha Figear 9 a’ sealltainn gu bheil uachdar a’ chip chuairteachaidh amalaichte air a mhilleadh le buaidh mheacanaigeach.

Tha Figear 10 a’ sealltainn losgadh pàirteach a’ chip chuairteachaidh amalaichte.

Tha Figear 11 a’ sealltainn gun deach a’ chip diode a bhriseadh sìos agus a losgadh gu dona, agus gun do thionndaidh na puingean brisidh gu staid leaghaidh.

Tha Figear 12 a’ sealltainn sliseag tiùb cumhachd microwave gallium nitride air a losgadh, agus tha a’ phuing loisgte a’ nochdadh staid sputtering leaghte.

02. Briseadh sìos electrostatach

Tha innealan leth-sheoltairean bho bhith gan dèanamh, gan pacadh, gan giùlan gus am bi iad air a’ bhòrd cuairteachaidh airson an cur a-steach, gan tàthadh, gan cur ri chèile agus pròiseasan eile fo bhagairt dealain statach. Anns a’ phròiseas seo, tha milleadh air a dhèanamh air còmhdhail air sgàth gluasad tric agus nochdadh furasta don dealain statach a chruthaicheas an saoghal a-muigh. Mar sin, bu chòir aire shònraichte a thoirt do dhìon electrostatach rè tar-chuir agus còmhdhail gus call a lughdachadh.

Ann an innealan leth-chonnsachaidh le tiùb MOS aon-phòlach agus cuairtean amalaichte MOS, tha iad gu sònraichte mothachail air dealan statach, gu h-àraidh tiùb MOS, leis gu bheil an aghaidh cuir-a-steach aca fhèin glè àrd, agus gu bheil comas electrod a’ gheata-stòrais glè bheag, agus mar sin tha e glè fhurasta buaidh a thoirt air le raon electromagnetic taobh a-muigh no inntrigeadh electrostatach agus cosgais a chur air, agus air sgàth gineadh electrostatach, tha e duilich cosgais a leigeil ma sgaoil ann an tìm, agus mar sin, tha e furasta cruinneachadh dealain statach adhbhrachadh a bhriseas sìos sa bhad an inneal. Is e briseadh sìos innleachdach dealain a th’ ann am briseadh sìos electrostatach sa mhòr-chuid, is e sin, bidh an sreath tana ocsaid den ghriod a’ briseadh sìos, a’ cruthachadh toll-prìne, a bhios a’ giorrachadh a’ bheàirn eadar a’ ghriod agus an stòr no eadar a’ ghriod agus an drèana.

Agus an coimeas ri tiùb MOS, tha comas briseadh sìos an-aghaidh statach cuairt amalaichte MOS beagan nas fheàrr, leis gu bheil diode dìon aig ceann-uidhe cuir a-steach cuairt amalaichte MOS. Cho luath ‘s a bhios bholtadh electrostatach no bholtadh borb mòr ann, faodar a’ mhòr-chuid de na diodes dìon a thionndadh chun na talmhainn, ach ma tha am bholtadh ro àrd no an sruth leudachaidh sa bhad ro mhòr, uaireannan bidh na diodes dìon gan briseadh fhèin, mar a chithear ann am Figear 8.

'S e cruth-tìre briseadh-sìos electrostatach cuairt amalaichte MOS a tha sna grunn dhealbhan a chithear ann am figear 13. Tha am puing briseadh-sìos beag agus domhainn, a' nochdadh staid spùtadh leaghte.