San fharsaingeachd, tha e duilich beagan fàilligeadh a sheachnadh ann an leasachadh, cinneasachadh agus cleachdadh innealan semiconductor.Le leasachadh leantainneach air riatanasan càileachd toraidh, tha mion-sgrùdadh fàilligeadh a ’sìor fhàs cudromach.Le bhith a’ dèanamh anailis air sgoltagan fàilligeadh sònraichte, cuidichidh e luchd-dealbhaidh chuairtean gus na h-uireasbhaidhean ann an dealbhadh inneal a lorg, mì-chothromachadh paramadairean pròiseas, dealbhadh mì-reusanta de chuairt iomaill no mì-obrachadh air adhbhrachadh leis an duilgheadas.Tha feum air mion-sgrùdadh fàilligeadh air innealan semiconductor air a nochdadh sa mhòr-chuid anns na taobhan a leanas:
(1) Tha mion-sgrùdadh fàilligeadh na dhòigh riatanach gus uidheamachd teip chip an inneil a dhearbhadh;
(2) Tha mion-sgrùdadh fàilligeadh a 'toirt seachad bunait agus fiosrachadh riatanach airson breithneachadh èifeachdach air sgàinidhean;
(3) Tha mion-sgrùdadh teip a’ toirt seachad fiosrachadh fios-air-ais riatanach airson innleadairean dealbhaidh gus dealbhadh chip a leasachadh no a chàradh gu leantainneach agus a dhèanamh nas reusanta a rèir an t-sònrachadh dealbhaidh;
(4) Faodaidh mion-sgrùdadh fàiligeadh leasachadh riatanach a thoirt seachad airson deuchainn toraidh agus bunait fiosrachaidh riatanach a thoirt seachad airson a ’phròiseas deuchainn dearbhaidh a mheudachadh.
Airson mion-sgrùdadh teip air diodes semiconductor, clàran-fuaim no cuairtean aonaichte, bu chòir paramadairean dealain a dhearbhadh an toiseach, agus às deidh an sgrùdadh coltas fon mhiocroscop optigeach, bu chòir am pacaigeadh a thoirt air falbh.Fhad ‘s a chumas iad ionracas gnìomh a’ chip, bu chòir na stiùiridhean a-staigh agus a-muigh, puingean ceangail agus uachdar a ’chip a chumail cho fada‘ s a ghabhas, gus ullachadh airson an ath cheum sgrùdaidh.
A’ cleachdadh sganadh miocroscop dealanach agus speactram lùtha gus am mion-sgrùdadh seo a dhèanamh: a’ toirt a-steach amharc air morf-eòlas miocroscopach, sgrùdadh puing fàilligeadh, amharc puing easbhaidh agus suidheachadh, tomhas ceart de mheud geoimeatraidh microscopach an inneil agus cuairteachadh comas uachdar garbh agus breithneachadh loidsig a’ gheata dhidseatach cuairt (le modh ìomhaigh iomsgaradh bholtachd);Cleachd spectrometer lùth no spectrometer gus am mion-sgrùdadh seo a dhèanamh: mion-sgrùdadh co-dhèanamh eileamaidean microscopach, structar stuthan no mion-sgrùdadh truailleadh.
01. Easbhaidhean uachdar agus losgadh innealan semiconductor
Tha lochdan uachdar agus losgadh a-mach innealan semiconductor an dà chuid mar mhodhan teip cumanta, mar a chithear ann am Figear 1, is e sin locht an t-sreath ghlan de chuairt aonaichte.
Tha Figear 2 a’ sealltainn uireasbhaidh uachdar an t-sreath mheatailte den chuairt aonaichte.
Tha Figear 3 a’ sealltainn an t-sianail briseadh sìos eadar an dà stiallan meatailt den chuairt aonaichte.
Tha Figear 4 a 'sealltainn tuiteam an stiall meatailt agus deformation skew air an drochaid adhair anns an inneal microwave.
Tha Figear 5 a’ sealltainn losgadh clèithe an tiùba microwave.
Tha Figear 6 a’ sealltainn a’ mhilleadh meacanaigeach air an uèir mheatailt aonaichte dealain.
Tha Figear 7 a’ sealltainn fosgladh agus uireasbhaidh a’ chip mesa diode.
Tha Figear 8 a’ sealltainn briseadh sìos an diode dìon aig cuir a-steach a’ chuairt aonaichte.
Tha Figear 9 a’ sealltainn gu bheil uachdar a’ chip cuairteachaidh amalaichte air a mhilleadh le buaidh meacanaigeach.
Tha Figear 10 a’ sealltainn pàirt dheth a’ chip cuairteachaidh amalaichte.
Tha Figear 11 a’ sealltainn gun deach a’ chip diode a bhriseadh sìos agus a losgadh gu mòr, agus na puingean brisidh air an tionndadh gu staid leaghaidh.
Tha Figear 12 a’ sealltainn a’ chip tiùb cumhachd microwave gallium nitride air a losgadh, agus tha an t-àite loisgte a’ nochdadh staid sputtering leaghte.
02. Briseadh electrostatach
Tha innealan semiconductor bho saothrachadh, pacadh, còmhdhail gus am bi iad air a’ bhòrd cuairteachaidh airson cuir a-steach, tàthadh, co-chruinneachadh innealan agus pròiseasan eile fo chunnart dealan statach.Anns a 'phròiseas seo, tha còmhdhail air a mhilleadh mar thoradh air gluasad tric agus furasta a bhith fosgailte don dealan statach a chruthaich an saoghal a-muigh.Mar sin, bu chòir aire shònraichte a thoirt do dhìon electrostatach aig àm tar-chuir agus còmhdhail gus call a lughdachadh.
Ann an innealan semiconductor le tiùb MOS unipolar agus cuairteachadh amalaichte MOS gu sònraichte mothachail air dealan statach, gu sònraichte tiùb MOS, air sgàth gu bheil an aghaidh cuir a-steach aige fhèin glè àrd, agus tha an comas dealan-dealanach stòr geata glè bheag, agus mar sin tha e gu math furasta a bhith. fo bhuaidh raon electromagnetic taobh a-muigh no inntrigeadh electrostatach agus fo chasaid, agus air sgàth gineadh electrostatach, tha e duilich cosgais a leigeil ma sgaoil ann an ùine, Mar sin, tha e furasta cruinneachadh de dhealan statach adhbhrachadh gu briseadh sìos sa bhad den inneal.Tha an cruth de bhriseadh electrostatach gu ìre mhòr mar bhriseadh innleachdach dealain, is e sin, tha còmhdach tana ogsaid a’ ghriod air a bhriseadh sìos, a ’cruthachadh toll-pìne, a tha a’ giorrachadh a ’bheàrn eadar a’ ghriod agus an stòr no eadar a ’ghriod agus an drèana.
Agus an coimeas ri MOS tube MOS tha comas briseadh sìos antistatic cuairte amalaichte an ìre mhath beagan nas fheàrr, leis gu bheil inneal cuir a-steach cuairt aonaichte MOS uidheamaichte le diode dìon.Aon uair ‘s gu bheil bholtadh mòr electrostatach no bholtadh àrdachadh a-steach don mhòr-chuid de na diodes dìon faodar a thionndadh chun làr, ach ma tha an bholtadh ro àrd no gu bheil an sruth leudachaidh sa bhad ro mhòr, uaireannan nì na diodes dìon iad fhèin, mar a chithear san dealbh 8.
Is e na grunn dhealbhan a tha air an sealltainn ann am figear 13 an cumadh briseadh sìos electrostatach de chuairt aonaichte MOS.Tha a’ phuing briseadh sìos beag agus domhainn, a’ nochdadh staid sputtering leaghte.
Tha Figear 14 a’ sealltainn coltas briseadh electrostatach air ceann magnetach diosc cruaidh coimpiutair.
Ùine puist: Iuchar-08-2023